-
Hoogzuivere gasfiltratie voor de halfgeleiderindustrie – HENGKO HF-serie
Omschrijving: Het hogedrukgasfilter is speciaal ontworpen voor gebruik in hogedruk- en hoogzuivere gassystemen en ultra-hoogzuivere gaskasten...
Bekijk details -
Bereik ultrazuivere gasfiltratie voor de halfgeleiderproductie en garandeer de verwijdering van verontreinigingen...
De procesgasfilter, ook wel bekend als point-to-use inline filter, is speciaal ontworpen voor de halfgeleiderindustrie om nauwkeurig gassen te verwijderen...
Bekijk details -
Hoogzuivere bulk- en gebruiksfilters voor de halfgeleiderindustrie
Beschrijving: Gasfilter met hoge doorstroming – Speciaal ontworpen voor de filtratie van ultrazuivere procesgassen in de halfgeleiderindustrie. Nauwkeurig ontworpen filter...
Bekijk details -
Gasfiltratieoplossing voor de halfgeleiderindustrie – HF-serie van HENGKO
Omschrijving: Het hogedrukgasfilter is speciaal ontworpen voor gebruik in hogedruk- en hoogzuivere gassystemen en ultra-hoogzuivere gaskasten...
Bekijk details -
Geschikt voor cleanrooms: zorgen voor een verontreinigingsvrije lucht- en gasstroom in ...
De procesgasfilter, ook wel bekend als point-to-use inline filter, is speciaal ontworpen voor de halfgeleiderindustrie om nauwkeurig gassen te verwijderen...
Bekijk details -
Hoogzuivere filtratie voor ultraschone halfgeleiderproductie
Beschrijving: Gasfilter met hoge doorstroming – Speciaal ontworpen voor de filtratie van ultrazuivere procesgassen in de halfgeleiderindustrie. Nauwkeurig ontworpen filter...
Bekijk details -
Geavanceerd inline gasfilter voor olie- en gasraffinaderijen
De procesgasfilter, ook wel bekend als point-to-use inline filter, is speciaal ontworpen voor de halfgeleiderindustrie om nauwkeurig gassen te verwijderen...
Bekijk details -
Bulk- en utilityfilters voor hoge precisie in de halfgeleiderproductie
Beschrijving: Gasfilter met hoge doorstroming – Speciaal ontworpen voor de filtratie van ultrazuivere procesgassen in de halfgeleiderindustrie. Nauwkeurig ontworpen filter...
Bekijk details -
T-type inline gasfilter essentieel voor schone en betrouwbare halfgeleiderverwerking
De procesgasfilter, ook wel bekend als point-to-use inline filter, is speciaal ontworpen voor de halfgeleiderindustrie om nauwkeurig gassen te verwijderen...
Bekijk details -
Hoogzuivere gasfiltratieoplossingen voor de halfgeleiderindustrie
Beschrijving: Gasfilter met hoge doorstroming – Speciaal ontworpen voor de filtratie van ultrazuivere procesgassen in de halfgeleiderindustrie. Nauwkeurig ontworpen filter...
Bekijk details -
T-vormig inline gasfilter voor toepassingen in de halfgeleiderindustrie, industrieel T-vormig...
De procesgasfilter, ook wel bekend als point-to-use inline filter, is speciaal ontworpen voor de halfgeleiderindustrie om nauwkeurig gassen te verwijderen...
Bekijk details -
Ultieme zuiverheidsfilters voor kritische halfgeleiderprocessen
Beschrijving: Gasfilter met hoge doorstroming – Speciaal ontworpen voor de filtratie van ultrazuivere procesgassen in de halfgeleiderindustrie. Nauwkeurig ontworpen filter...
Bekijk details -
T-vormig gasfiltratiesysteem voor gebruik in gaskasten en gasdistributiesystemen, hoogrendementsfilter...
De procesgasfilter, ook wel bekend als point-to-use inline filter, is speciaal ontworpen voor de halfgeleiderindustrie om nauwkeurig gassen te verwijderen...
Bekijk details -
Gasdiffusers met hoge zuiverheid en hoge druk voor ongeëvenaarde filtratie en nauwkeurige flowregeling...
Beschrijving: Het diffusorfilter is een geavanceerde oplossing die specifiek is ontworpen voor snelle ontluchtingstoepassingen in vacuümkamers die worden gebruikt bij de productie van halfgeleiders...
Bekijk details -
IGS Filters platte opbouwfilters met C-afdichting voor gastoevoersystemen in de halfgeleiderindustrie
Beschrijving: HENGKO oppervlaktemontagefilters zijn ontworpen om te voldoen aan de strenge eisen van geïntegreerde gassystemen die worden gebruikt in OEM-apparatuur voor halfgeleiders. Deze filters bieden...
Bekijk details -
OEM-gasfilters met ultrahoge zuiverheid, op maat gemaakte roestvrijstalen oplossingen voor de halfgeleiderindustrie en...
OEM-gasfilters met ultrahoge zuiverheid, op maat gemaakte roestvrijstalen oplossingen voor de halfgeleider- en laboratoriumindustrie. Beschrijving: Gasfilter met hoge doorstroming – specifiek...
Bekijk details -
Industriële inline gasfilter voor gaszuiveringssystemen
De procesgasfilter, ook wel bekend als point-to-use inline filter, is speciaal ontworpen voor de halfgeleiderindustrie om nauwkeurig gassen te verwijderen...
Bekijk details -
Superieure filtratie en betrouwbare hogedruk-debietregeling voor halfgeleiderprocessen
Beschrijving: Het diffusorfilter is een geavanceerde oplossing die specifiek is ontworpen voor snelle ontluchtingstoepassingen in vacuümkamers die worden gebruikt bij de productie van halfgeleiders...
Bekijk details -
Oppervlaktemontage C-afdichtingsfilteroplossingen voor efficiënte gasleveringssystemen van IGS
Beschrijving: HENGKO oppervlaktemontagefilters zijn ontworpen om te voldoen aan de strenge eisen van geïntegreerde gassystemen die worden gebruikt in OEM-apparatuur voor halfgeleiders. Deze filters bieden...
Bekijk details -
Fabrikant van filterelementen met hoge zuiverheid die nauwkeurige flowregeling bieden voor fabrieken en klinieken...
Fabrikant van hoogzuivere filterelementen voor nauwkeurige flowregeling in fabrieken en cleanrooms. Beschrijving: HENGKO opbouwfilters zijn...
Bekijk details
Halfgeleidergasfilters:
Het garanderen van een onberispelijke gaszuiverheid bij de productie van chips.
In de complexe wereld van de halfgeleiderproductie, waar precisie en zuiverheid van het grootste belang zijn, is de kwaliteit van
De gebruikte gassen spelen een cruciale rol in het succes van het proces. Onzuiverheden, zelfs in minuscule hoeveelheden,
kan grote schade toebrengen aan de delicate circuits van microchips, waardoor deze defect en onbruikbaar worden. Om dit te beschermen
In dit cruciale proces fungeren halfgeleidergasfilters als onwrikbare bewakers, die nauwgezet verontreinigingen verwijderen.
en het waarborgen van de onberispelijke kwaliteit van de gassen die door de productielijnen stromen.
Gesinterde metaalfilters bieden vele uitstekende eigenschappen en voordelen.
1. Vervaardigd in een ultramoderne cleanroomomgeving
Deze filters worden vervaardigd in een ultramoderne cleanroom, een omgeving waar onberispelijke omstandigheden nauwgezet worden gehandhaafd om mogelijke verontreiniging tot een minimum te beperken. Ze ondergaan een rigoureus productieproces, beginnend met precisielassen in een atmosfeer van gezuiverde lucht. Een daaropvolgende spoeling met gedemineraliseerd water, gevolgd door een hogedrukspoeling met gefilterde stikstof, verwijdert alle resterende deeltjes en vermindert het risico op deeltjesafgifte.
2. Uitzonderlijk hoge efficiëntie bij het verwijderen van deeltjes
Met een opmerkelijke filtratie-efficiëntie van 9 LRV voor deeltjes van 0,003 μm, en conform de strenge normen van de SEMI F38- en ISO 12500-testmethoden, verwijderen deze filters effectief alle door corrosie veroorzaakte deeltjes en deeltjes afkomstig van bewegende onderdelen, waardoor de zuiverheid van de gassen gewaarborgd blijft.
3. Superieure mechanische sterkte
Deze filters zijn grondig getest om een uitzonderlijke weerstand te garanderen in veeleisende productieprocessen en omgevingen waar vaak hoge gasdrukken voorkomen, en bieden daardoor onwrikbare prestaties gedurende hun hele levensduur.
4. De hoogste industrienormen overtreffen
Deze filters overtreffen de strenge eisen voor gasfiltratie bij de verwerking van halfgeleiders en ondergaan rigoureuze tests om te garanderen dat ze voldoen aan de kritische normen voor filtratie-efficiëntie, nauwkeurige stroomregeling en veiligheid die vereist zijn voor gastoevoersystemen in de halfgeleiderproductie.
5. Onwrikbare toewijding aan veiligheid
Om blootstelling aan ontvlambare, corrosieve, giftige en pyrofore procesgassen te voorkomen, worden de filterbehuizingen nauwgezet op lekkage getest. Hierdoor wordt een opmerkelijk lage lekdichtheid van minder dan 1 x 10⁻⁹ atm scc/seconde gegarandeerd. Deze onwrikbare toewijding aan veiligheid zorgt ervoor dat gevaarlijke gassen worden ingesloten en geen schade kunnen veroorzaken.
6. Compromisloze zuiverheid voor uitmuntende chipfabricage
Door hun uitzonderlijke filtratiemogelijkheden, onwrikbare toewijding aan veiligheid en naleving van de hoogste industrienormen spelen deze gasfilters een cruciale rol in de bescherming van het complexe proces van halfgeleiderproductie. Ze fungeren als bewakers van de zuiverheid en zorgen ervoor dat alleen de schoonste gassen door de productielijnen stromen, waardoor de weg wordt vrijgemaakt voor de creatie van hoogwaardige microchips die onze moderne wereld aandrijven.
Soorten halfgeleiderfilters
Halfgeleiderfilters worden in diverse toepassingen gebruikt, waaronder:
* Productie van elektronica:
Halfgeleiderfilters worden gebruikt om deeltjes te verwijderen uit ultrazuiver water, gassen en chemicaliën die worden gebruikt bij de productie van halfgeleiders.
* Chemisch-mechanische planarizatie (CMP):
Halfgeleiderfilters worden gebruikt om deeltjes te verwijderen uit CMP-slurries, die worden gebruikt voor het polijsten van halfgeleiderwafers.
* Biomedisch:
Halfgeleiderfilters worden gebruikt om deeltjes te verwijderen uit vloeistoffen die worden gebruikt bij medische diagnostiek en behandelingen.
* Milieu:
Halfgeleiderfilters worden gebruikt om deeltjes uit lucht en water te verwijderen.
Er zijn vier hoofdtypen halfgeleiderfilters:
1. Membraanfilters:
Membraanfilters bestaan uit een dunne, poreuze film die vloeistoffen doorlaat en deeltjes tegenhoudt.
2. Dieptefilters:
Dieptefilters bestaan uit een dikke, kronkelige laag materiaal die deeltjes opvangt terwijl ze door het filter stromen.
3. Adsorberende filters:
Adsorberende filters zijn gemaakt van een materiaal dat deeltjes aantrekt en vasthoudt.
4. Gesinterde metaalfilters
Gesinterde metaalfiltersDit zijn dieptefilters die veelvuldig worden gebruikt in de halfgeleiderindustrie. Ze worden gemaakt door fijn metaalpoeder te sinteren tot een poreuze structuur. Gesinterde metaalfilters staan bekend om hun hoge duurzaamheid, hoge filtratie-efficiëntie en het vermogen om hoge temperaturen en drukken te weerstaan.
Voordelen van gesinterde metaalfilters voor de halfgeleiderproductie:
* Hoge duurzaamheid:
* Hoge filtratie-efficiëntie:
* Lange levensduur:
* Chemische compatibiliteit:
Toepassingen van gesinterde metaalfilters in de halfgeleiderproductie:
* Gaszuivering:
Gesinterde metaalfilters zijn een essentieel onderdeel van het halfgeleiderproductieproces en dragen bij aan de productie van hoogwaardige halfgeleidercomponenten.
Het type halfgeleiderfilter dat in een bepaalde toepassing wordt gebruikt, hangt af van de grootte van de te verwijderen deeltjes, het type vloeistof dat wordt gefilterd en het gewenste filtratieniveau.
Hieronder vindt u een tabel met een overzicht van de verschillende soorten halfgeleiderfilters:
| Filtertype | Beschrijving | Toepassingen | Afbeelding |
|---|---|---|---|
| Membraanfilters | Gemaakt van een dunne, poreuze film die vloeistoffen doorlaat maar deeltjes tegenhoudt. | Elektronicafabricage, CMP, biomedisch, milieu | |
| Dieptefilters | Gemaakt van een dikke, kronkelige laag materiaal die de deeltjes opvangt terwijl ze door het filter stromen. | CMP, biomedisch, milieu | |
| Adsorberende filters | Gemaakt van een materiaal dat deeltjes aantrekt en vasthoudt. | Elektronicafabricage, CMP, biomedisch, milieu | |
| Gesinterde metaalfilters | Gemaakt door fijn metaalpoeder te sinteren tot een poreuze structuur. | Gaszuivering, chemische filtratie, filtratie van ultrazuiver water, CMP-slurryfiltratie | Gesinterde metaalfilters voor halfgeleiders |
Sollicitatie
Gesinterde metaal-halfgeleidergasfilters worden veelvuldig gebruikt in diverse toepassingen binnen de halfgeleiderindustrie. Hun unieke eigenschappen, zoals een hoge filtratie-efficiëntie, duurzaamheid en het vermogen om hoge temperaturen en drukken te weerstaan, maken ze tot een essentieel onderdeel van gastoevoersystemen in de halfgeleiderproductie.
Hieronder volgen enkele specifieke toepassingen van gasfilters van gesinterd metaal en halfgeleiders:
1. Waferproductie:
Gesinterde metaalfilters worden gebruikt om gassen te zuiveren die bij de waferproductie worden gebruikt, zoals stikstof, waterstof en zuurstof. Deze gassen zijn essentieel voor processen zoals epitaxiale groei, etsen en doteren.
2. Chemische filtratie:
Gesinterde metaalfilters worden gebruikt om chemicaliën te filteren die in de halfgeleiderproductie worden gebruikt, zoals zuren, basen en oplosmiddelen. Deze chemicaliën worden voor diverse doeleinden gebruikt, waaronder reinigen, etsen en polijsten.
3. Ultrazuivere waterfiltratie:
Gesinterde metaalfilters worden gebruikt om ultrazuiver water (UPW) te filteren dat wordt gebruikt bij de productie van halfgeleiders. UPW is essentieel voor het reinigen en spoelen van wafers, en ook voor de bereiding van chemicaliën.
4. CMP-slurryfiltratie:
Gesinterde metaalfilters worden gebruikt om CMP-slurries te filteren, die vervolgens worden gebruikt om halfgeleiderwafers te polijsten. CMP is een cruciaal proces bij de fabricage van microchips.
5. Filtratie op het gebruikspunt (POU):
Gesinterde metaalfilters worden vaak gebruikt als POU-filters (Point-of-Use), die direct op de gebruiksplaats worden geïnstalleerd om de hoogst mogelijke filtratie te bieden. POU-filters zijn met name belangrijk voor toepassingen waarbij de zuiverheid van het gas cruciaal is, zoals bij de productie van microprocessoren en andere hoogwaardige apparaten.
6. Behandeling van zeer zuivere gassen:
Gesinterde metaalfilters worden gebruikt in systemen voor de behandeling van zeer zuivere gassen om verontreinigingen te verwijderen uit gassen die worden gebruikt bij de productie van halfgeleiders. Deze verontreinigingen kunnen bestaan uit deeltjes, vocht en organische verbindingen.
7. Fabricage van micro-elektronica:
Gesinterde metaalfilters worden gebruikt bij de productie van micro-elektronica, zoals computers, tablets, mobiele telefoons, IoT-sensoren en besturingsapparaten.
8. Micro-elektromechanische systemen (MEMS) filtratie:
Gesinterde metaalfilters worden gebruikt bij MEMS-filtratie, het proces waarbij verontreinigingen uit micro-elektromechanische systemen worden verwijderd. MEMS worden in diverse toepassingen gebruikt, waaronder sensoren, actuatoren en transducers.
9. Filtering van gegevensopslagapparaten:
Gesinterde metaalfilters worden gebruikt bij het filteren van gegevensopslagapparaten. Dit is het proces waarbij verontreinigingen uit gegevensopslagapparaten, zoals harde schijven en solid-state drives, worden verwijderd.
Naast deze specifieke toepassingen worden gesinterde metaal-halfgeleidergasfilters ook gebruikt in diverse andere toepassingen in de halfgeleiderindustrie. Hun veelzijdigheid en betrouwbaarheid maken ze tot een essentieel hulpmiddel voor halfgeleiderfabrikanten.
Bent u op zoek naar hoogwaardige gasfilters van gesinterd metaal met halfgeleidertechnologie?
HENGKO is uw ideale partner voor OEM-oplossingen in halfgeleiderproductiesystemen.
Onze nauwkeurig ontworpen filters garanderen betrouwbaarheid en efficiëntie in uw processen en bieden u een concurrentievoordeel.
Waarom kiezen voor de filters van HENGKO?
* Superieure kwaliteit en duurzaamheid
* Oplossingen op maat die aansluiten op uw specifieke behoeften
* Verbeterde prestaties voor de productie van halfgeleiders
Laat filtratieproblemen uw productie niet belemmeren.
Neem vandaag nog contact met ons op om te ontdekken hoe onze gesinterde metaalfilters uw productieproces kunnen revolutioneren.
Neem contact met ons op viaka@hengko.com
Werk samen met HENGKO en zet een stap richting uitmuntendheid in de halfgeleiderproductie!


















