Hoogzuivere filtratie voor ultraschone halfgeleiderproductie
Beschrijving
Gasfilter met hoge doorstroming – Speciaal ontworpen voor ultrazuivere procesgasfiltratie in de halfgeleiderindustrie. Nauwkeurig vervaardigd uit 316L roestvrij staal, beschikt het over een meerkoloms of gestapeld schijffilterontwerp om een lage weerstand bij hoge doorstroming te garanderen. De filtratienauwkeurigheid bereikt 0,003 μm, waarmee aan de ultrazuiverheidseisen wordt voldaan. De volledig metalen constructie maakt het een ideale filtratieoplossing voor dynamische omgevingen met hoge temperaturen.
Productkenmerk
▶Volledig vervaardigd uit 316L roestvrij staal.— Garandeert duurzaamheid en corrosiebestendigheid.
▶Hoge doorstroomsnelheid, lage weerstand— Geoptimaliseerd voor een hoge doorstroming met minimaal drukverlies.
▶Ultrahoge deeltjesretentie-efficiëntie— Uitstekend geschikt voor het handhaven van ultrazuivere omstandigheden.
▶Bestand tegen hoge temperaturen, druk en corrosie.— Geschikt voor zware omstandigheden.
▶Compatibel met diverse procesgassen— Veelzijdig inzetbaar voor diverse industriële toepassingen.
▶Ideaal voor cleanroomproductie, -testen en -verpakking.— Perfect voor gebruik in gecontroleerde omgevingen.
▶100% integriteitstesten— Elk filter ondergaat een uitgebreide integriteitstest om de kwaliteit te waarborgen.
▶100% heliumlektest— Geverifieerd door middel van heliumlektesten om de betrouwbaarheid in kritische toepassingen te garanderen.
Gegevensblad
Technische parameters
| Parameter | Specificatie |
|---|---|
| Materiaal van het filterelement | 316L roestvrij staalpoeder gesinterd |
| Behuizingsmateriaal | 316L roestvrij staal |
| Maximale inlaatdruk | 207 bar |
| Maximale bedrijfsdrukverschil | 5,2 bar |
| Heliumlekpercentage bij validatie | 2 x 10⁻¹⁰ cc/min |
| Lekpercentage bij heliumtesten | 1 x 10⁻¹⁰ cc/min |
| Oppervlaktebehandeling | |
| Buitenoppervlak | Ra < 1,6 μm |
| Binnenoppervlak | Ra < 0,2 μm |
| Maximale bedrijfstemperatuur | |
| Inert gas | 400-500℃ |
| Corrosief en reactief gas | 50℃ |
| Deeltjesretentie-efficiëntie | ≥99,9999999% (9LRV) @ 30 slpm |
| Stroomafwaartse reinheid | ≤0,03 deeltjes/liter @ > 0,01 μm, 30 slpm |
| Deeltjesretentiegrootte | ≥0,003 μm |
Maat
Hieronder vindt u het artikelnummer en de maatinformatie die u kunt bestellen:
| Productmodel | Materiaal van het filterelement | Filtratienauwkeurigheid (μm) | Verbindingstype |
|---|---|---|---|
| Z01B-00647 | 316L roestvrij staal | 10~0,003 | 1/4” |
| Z01B-00648 | 316L roestvrij staal | 10~0,003 | 1/2” |
| Z01B-00649 | 316L roestvrij staal | 10~0,003 | 1/8” |
| Z01B-00650 | 316L roestvrij staal | 10~0,003 | 1” |
| Aanpasbaar | 316L roestvrij staal | 10~0,003 | Naar behoefte |
Typische toepassingen
enkele typische toepassingen vanFilters voor bulk- en gebruikstoepassingen met hoge zuiverheidEnGasstroomfilters bij het gasplatform:
1. Halfgeleiderproductie
*Garandeert een ultrazuivere gastoevoer voor waferfabricage, etsen en chemische dampafzetting (CVD)-processen.
*Handhaaft een hoge zuiverheid in bulkgasdistributiesystemen voor stikstof, argon en andere draaggassen.
2. Farmaceutische productie
*Biedt steriel en deeltjesvrij gas voor kritische productieomgevingen.
*Ondersteunt hoogwaardige filtratie voor cleanrooms en gecontroleerde omgevingen om de productintegriteit te waarborgen.
3. Laboratoriumgassystemen
*Wordt in laboratoria gebruikt om gasstromen te zuiveren in analytische apparatuur zoals gaschromatografie en massaspectrometrie.
*Garandeert zeer zuivere gassen voor onderzoeks- en testtoepassingen en beschermt gevoelige instrumenten.
4. Voedsel- en drankenverwerking
*Filtert CO₂ en andere gassen die worden gebruikt bij het carboniseren, verpakken en bewaren van voedsel, waardoor de voedselveiligheid en -kwaliteit gewaarborgd blijven.
*Garandeert een verontreinigingsvrije gasvoorziening in verwerkingsinstallaties, met name voor gasleveranciers.
5. Olie- en gasindustrie
*Zuivert aardgasstromen door middel van gasfiltering, waarbij verontreinigingen worden verwijderd vóór opslag of transport.
*Beschermt apparatuur stroomafwaarts door deeltjes, vocht en onzuiverheden te verwijderen uit hogedrukgasstroomsystemen.
6. Chemische productie
*Filtert hulpgassen zoals stikstof en argon die worden gebruikt bij chemische synthese en reacties.
*Zorgt voor de zuiverheid van het gas om besmetting en inconsistenties in de reactie te voorkomen.
7. Lucht- en ruimtevaart en defensie
*Levert zeer zuivere gassen in productie- en testomgevingen voor materialen en componenten in de lucht- en ruimtevaart.
*Garandeert een constante gaszuiverheid in gecontroleerde omgevingen voor de assemblage van vliegtuigen en defensiematerieel.
8. Energieproductie (elektriciteitscentrales)
*Filtert hogedrukgassen voor koel- en procesapplicaties, met name in omgevingen met hoge temperaturen.
*Verbetert de efficiëntie en vermindert slijtage van apparatuur door verontreiniging in gaskoelings- en stromingssystemen te voorkomen.
Deze fFilters zijn essentieel in elke toepassing die een schone, constante gasstroom vereist, en dragen bij aan de bescherming van de apparatuur.
procesefficiëntie en eindproductkwaliteit in diverse sectoren.
Stuur ons uw bericht:
