Geavanceerde IGS C-Seal oppervlaktefilters voor ultrazuivere halfgeleidergassystemen
Beschrijving
HENGKO oppervlaktefilters zijn ontworpen om te voldoen aan de hoge eisen van geïntegreerde gassystemen die worden gebruikt in OEM-apparatuur voor halfgeleiders. Deze filters bieden toonaangevende filtratie bij 0,003 µm en garanderen uitzonderlijke prestaties en betrouwbaarheid met een deeltjesafvangrendement van ≥99,9999999% (9-LRV) bij 120 slpm.
Deze filters zijn vervaardigd uit robuust 316L roestvrij staal, gesinterd voor het filterelement en de behuizing, en voldoen aan de SEMI F86-0304 specificaties. Ze zijn voorzien van tweepoorts componenten, speciaal ontworpen voor 1,125” gasdistributiesystemen met een C-afdichting. Ze ondersteunen een maximale inlaatdruk van 3,4 MPa bij 100 °C en een maximaal werkdrukverschil van 0,69 MPa bij 100 °C.
Deze gespecialiseerde filters, compatibel met zowel C-type als W-type afdichtingsspecificaties, zorgen voor een zuivere afvoer met een goede deeltjesafvoer.
Met een oppervlakteafwerking van Ra< 1,6 µm aan de buitenkant en RaMet een binnendiameter van < 0,13 µm zijn ze ontworpen om hoge temperaturen tot 460 °C te weerstaan. Deze filters zijn ontwikkeld voor eenvoudige integratie en modulaire upgrades, waardoor installatie en onderhoud worden vereenvoudigd en de systeemprestaties in halfgeleidergasleverings- en -regelingsapplicaties worden geoptimaliseerd.
Productkenmerk
▶ Volledig vervaardigd uit 316L roestvrij staal
▶ Miniatuurontwerp, compacte structuur, ruimtebesparend
▶ Uitstekende gasvervangings- en desorptie-eigenschappen
▶ Bestand tegen hoge temperaturen, hoge druk en corrosie
▶ Elektrolytisch gepolijste behuizing van 316L roestvrij staal
▶ Eenvoudige en efficiënte installatie en onderhoud
▶ Mechanische afdichting, structureel niet aan het medium gelast.
Gegevensblad
| Technische parameters | Waarden |
|---|---|
| Materiaal van het filterelement | 316L roestvrijstalen gesinterd poeder |
| Behuizingsmateriaal | 316L roestvrij staal |
| Maximale inlaatdruk | 3,4 MPa bij 100 °C |
| Maximaal werkingsverschil | 0,69 MPa bij 100 °C |
| Heliumlekpercentage bij verificatie | 1x10⁻¹¹ cc/min |
| Lekpercentage bij heliumtest | 1x10⁻⁹ cc/min |
| Oppervlaktebehandeling | Buitenoppervlak Ra< 1,6 μm |
| Binnenoppervlak Ra< 0,13 μm | |
| Maximale bedrijfstemperatuur | 460°C |
| Deeltjesonderscheppingsefficiëntie | ≥99,9999999% (9-LRV) bij 120 slpm (Referentie MPPS, alle deeltjes) |
| Stroomafwaartse reinheid | Deeltjesvrijgave:< 0,03 deeltjes/liter (< 1 deeltje/ft³) |
| Vluchtige stoffen:< 10 ppb vocht | |
| Deeltjesonderscheppingsgrootte | ≥0,003 μm |
| Stroombereik | 0 ~ 120 slpm |
Maat
Hieronder vindt u het artikelnummer en de maatinformatie die u kunt bestellen:
| Productmodel | Debiet | Hoogte H (mm) | Filtratieprecisie | Reinigingsniveau |
|---|---|---|---|---|
| Z01B-00637 | 10 slpm | 51.6 | 0,003 μm | C |
| Z01B-00638 | 40 slpm | 82.9 | 0,003 μm | C |
| Z01B-00687 | 80 slpm | 126.2 | 0,003 μm | C |
| Z01B-00688 | 120 slagen per minuut | 167.9 | 0,003 μm | C |
Typische toepassingen
Voor gebruik met W-seal en C-seal, 1,125” en 1,5” opbouw modulaire gastoevoersystemen.
Stuur ons uw bericht:
