Temperatuur- en vochtigheidssensor voor regeling van de luchtvochtigheid in de cleanroom van halfgeleiders
productshow
De temperatuurenvochtigheid van schone ruimte wordt voornamelijk bepaald volgens de procesvereisten, maar onder de voorwaarde dat aan de procesvereisten wordt voldaan, moet rekening worden gehouden met het gevoel van comfort.Met de verbetering van de eisen voor luchtzuiverheid is er een trend van steeds strengere eisen voor temperatuur en vochtigheid.
Naarmate de verwerkingsnauwkeurigheid steeds fijner wordt, wordt het temperatuurfluctuatiebereik steeds kleiner.In het lithografische belichtingsproces van grootschalige productie van geïntegreerde schakelingen moet bijvoorbeeld het verschil in thermische uitzettingscoëfficiënt tussen glas en siliciumwafer als maskermateriaal steeds kleiner worden.Diameter 100 um siliciumwafel, temperatuurstijging 1 graad, zal 0,24 um lineaire uitzetting veroorzaken, dus er moet een temperatuur van ± 0,1 graad zijn, terwijl de vochtigheidswaarde over het algemeen laag is, omdat mensen zweten, zal het product vervuiling hebben, vooral bang voor natriumhalfgeleiderworkshop, deze workshop mag niet hoger zijn dan 25 graden.
Hoge luchtvochtigheid veroorzaakt meer problemen.Wanneer de relatieve luchtvochtigheid hoger is dan 55%, vormt zich dauw op de wand van de koelwaterleiding, wat verschillende ongelukken kan veroorzaken als dit gebeurt in precisie-apparaten of circuits.Wanneer de relatieve vochtigheid 50% is, is het gemakkelijk te roesten.Bovendien, wanneer de luchtvochtigheid te hoog is, zal het stof dat aan het oppervlak van de siliciumchip vastzit chemisch op het oppervlak worden geadsorbeerd om verwijdering tegen te gaan.Hoe hoger de relatieve luchtvochtigheid, de hechting is moeilijk te verwijderen, maar wanneer de relatieve luchtvochtigheid lager is dan 30%, zijn de deeltjes gemakkelijk aan het oppervlak te adsorberen vanwege de werking van elektrostatische kracht, en een groot aantal halfgeleiderapparaten zijn vatbaar voor afbraak.Het optimale temperatuurbereik voor wafelproductie is 35-45%.
Daarom is de controle van temperatuur en vochtigheid bijzonder belangrijk, HENGKO kan u voorzien van een reeks vantemperatuur- en vochtigheidstransmitter op maat gemaakte verwerkingsoplossingen!
Temperatuur- en vochtigheidssensor voor regeling van de luchtvochtigheid in de cleanroom van halfgeleiders
Kunt u geen product vinden dat aan uw wensen voldoet?Neem hiervoor contact op met onze verkoopmedewerkersOEM/ODM-aanpassingsservices! 
